Title [Seminar on Sputtering]
Date 2008.10.28


오늘 4시부터 상산수리과학관에서 응용 물리 특강이 있었다. 스퍼터링(Sputtering)이라는 박막 증착(thin film deposition) 기기에 대한 소개와 응용에 대한 세미나였다. 연사는 실제 산업계에서 활동하시는 윤능구 사장님.

최근 응용 물리 수업만큼 나를 심히 좌절시키고 또한 들뜨게 만드는 과목이 없다. 이 과목에서 다루는 내용은 실로 광범위하다. 물리와 화학, 전자공학과 재료공학을 넘나든다. 내일 수업을 쉬는 대신 계획된 특강에는 되도록이면 참석하라는 교수님의 말씀에 일찌감치 좋은 세미나를 기대하면서, 입학 시험 치를 때 딱 한 번 가보고 그 이후로는 단 한 번도 가지 않았던 상산수리과학관에 갔다. (상산수리과학관은 '수학의 정석'의 저자인 홍성대씨의 호인 '상산'을 따서 지어진 건물이다. 이른바 '정석 팔아 올린 건물'이 바로 이 곳임.)

스퍼터링은 PVD(Physical Vapor Deposition)의 대표적인 예 중 하나로 Evaporation 방식에 의한 것보다 균일한 박막을 증착시킬 수 있으나 step-coverage가 불량한 단점이 있다. 오늘의 세미나는 스퍼터링의 여러 종류(DV, RF, Reactive deposition, magnetron, Ion beam 등)와 더불어 step-coverage를 해결하기 위한 여러 노력 등을 찬찬히 훑어나가는 의미있는 것이었다. 수업 달랑 1시간을 통해서는 아무래도 깊이 알 수가 없었는데 직접 산업에서 '박막 증착으로 먹고 사시는' 분의 설명을 듣다보니 이해가 절로 잘 되었다. 어제까지만해도 PVD와 CVD(Chemical Vapor Deposition)하면 개념이 구름 떠다니듯 그렇게 두루뭉술했는데, 이제는 확실하다.

오늘의 세미나는 '이미 접해 봤던 주제이자 수업 내용'에 대한 것이었으므로 어쩌면 세미나를 통해 지식이 더욱 확실해지는 것은 당연한 결과일지도 모르겠다. 자기가 관심 있는 분야에 대한 남의 결과와 의견, 설명을 듣는 것이 이처럼 중요하다는 것을 새삼 깨닫는다. 내일 Nanoparticle fabrication과 characterization으로 매우 유명한 U.C.Berkeley의 Paul Alivisatos 교수가 BK 특별세미나를 화학부에서 개최한다는데 시간이 되면 가보도록 할까. 음. 수업이랑 시간이 겹치는데 이거 원.





For the sake! Of the call!

-fluorF-